二极管质量控制
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干氧氧化-二氧化硅结构致密，均匀性重复性好，针孔密度小，与光刻胶黏附良好，但该方法生长速率慢，不易生长厚的二氧化硅。
加工容易，批量大，成本低，污染少。
外延层厚度可以调节，多个外延层可连续生长，可通过该方法调节厚度，掺杂浓度等形成复杂结构的外延层。
是恒定表面热扩散和限定表面热扩散的结合，可满足对表面杂质浓度、杂质数量等要求。
按外延层/衬底材料分类-同质外延和异质外延。